2023年2月28日，15vip太阳集团科技发展有限公司申报的一项发明专利获得国家知识产权局正式受理。
本发明专利“一种形成硅锗外延层的方法”涉及半导体技术领域，提出了一种形成硅锗外延层的方法。该发明技术方案，解决了现有技术中的硅基衬底上外延生长的硅锗材料质量差、均匀度低的问题。
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了解创新动态和前沿技术成果，为企业创新赋能
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2023年2月28日，15vip太阳集团科技发展有限公司申报的一项发明专利获得国家知识产权局正式受理。
本发明专利“一种形成硅锗外延层的方法”涉及半导体技术领域，提出了一种形成硅锗外延层的方法。该发明技术方案，解决了现有技术中的硅基衬底上外延生长的硅锗材料质量差、均匀度低的问题。
